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Deposition, Characterization, and Modeling of Scandium-Doped Aluminum Nitride Thin Film for Piezoelectric Devices
par
Qiaozhen Zhang
,
Mingzhu Chen
,
Huiling Liu
,
Xiangyong
Zhao
,
Xiaomei Qin
,
Feifei Wang
,
Yanxue Tang
,
Keat Hoe Yeoh
,
Khian-Hooi Chew
,
Xiaojuan Sun
Publié 2021
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