Enisherlova, K. L., Seidman, L. A., Temper, E. M., & Kontsevoy, Y. A. (2021). Effect of PECVD SiNx deposition process parameters on electrical properties of SiNx/AlGaN/GaN structures. Pensoft Publishers.
Style de citation Chicago (17e éd.)Enisherlova, Kira L., Lev A. Seidman, Ella M. Temper, et Yuliy A. Kontsevoy. Effect of PECVD SiNx Deposition Process Parameters on Electrical Properties of SiNx/AlGaN/GaN Structures. Pensoft Publishers, 2021.
Style de citation MLA (8e éd.)Enisherlova, Kira L., et al. Effect of PECVD SiNx Deposition Process Parameters on Electrical Properties of SiNx/AlGaN/GaN Structures. Pensoft Publishers, 2021.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.