DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN

Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temper...

Descripción completa

Guardado en:

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Ortega de la Rosa,Rubin, Franco M.,Claudia, Valdés C.,Eduardo, de Anda Rodríguez,Guillermo
Lenguaje:	Spanish / Castilian
Publicado:	Universidad de Tarapacá. Facultad de Ingeniería 2005
Materias:	PVD magnetrón TiN sustratos SEM
Acceso en línea:	http://www.scielo.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-13372005000200004
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

id	oai:scielo:S0718-13372005000200004
record_format	dspace
spelling	oai:scielo:S0718-133720050002000042005-11-07DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiNOrtega de la Rosa,RubinFranco M.,ClaudiaValdés C.,Eduardode Anda Rodríguez,Guillermo PVD magnetrón TiN sustratos SEM Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400ºC de sustrato, observándose una significativa variación en el color clásico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electrónico de Barrido) y difracción de rayos X revelan que hubo un cambio de coloración, composición y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositación y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdurómetro Mitutoyo. La microscopía electrónica de barrido reveló una morfología columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas.info:eu-repo/semantics/openAccessUniversidad de Tarapacá. Facultad de IngenieríaRevista Facultad de Ingeniería - Universidad de Tarapacá v.13 n.2 20052005-08-01text/htmlhttp://www.scielo.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-13372005000200004es10.4067/S0718-13372005000200004
institution	Scielo Chile
collection	Scielo Chile
language	Spanish / Castilian
topic	PVD magnetrón TiN sustratos SEM
spellingShingle	PVD magnetrón TiN sustratos SEM Ortega de la Rosa,Rubin Franco M.,Claudia Valdés C.,Eduardo de Anda Rodríguez,Guillermo DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
description	Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temperaturas alrededor de 400ºC de sustrato, observándose una significativa variación en el color clásico dorado y la dureza. Los resultados obtenidos mediante SEM (Microscopio Electrónico de Barrido) y difracción de rayos X revelan que hubo un cambio de coloración, composición y dureza al variar las condiciones de tiempo de depositación y distancia de trabajo sobre los sustratos. Esto fue corroborado en los resultados obtenidos por mediciones de dureza con un microdurómetro Mitutoyo. La microscopía electrónica de barrido reveló una morfología columnar. Utilizando un microindentador Vickers se obtuvo la dureza de los recubrimientos para las muestras analizadas.
author	Ortega de la Rosa,Rubin Franco M.,Claudia Valdés C.,Eduardo de Anda Rodríguez,Guillermo
author_facet	Ortega de la Rosa,Rubin Franco M.,Claudia Valdés C.,Eduardo de Anda Rodríguez,Guillermo
author_sort	Ortega de la Rosa,Rubin
title	DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
title_short	DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
title_full	DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
title_fullStr	DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
title_full_unstemmed	DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
title_sort	dispersión asistida por magnetrón en películas de tin
publisher	Universidad de Tarapacá. Facultad de Ingeniería
publishDate	2005
url	http://www.scielo.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-13372005000200004
work_keys_str_mv	AT ortegadelarosarubin dispersionasistidapormagnetronenpeliculasdetin AT francomclaudia dispersionasistidapormagnetronenpeliculasdetin AT valdesceduardo dispersionasistidapormagnetronenpeliculasdetin AT deandarodriguezguillermo dispersionasistidapormagnetronenpeliculasdetin
_version_	1714202098475728896

DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN

Ejemplares similares