DISPERSIÓN ASISTIDA POR MAGNETRÓN EN PELÍCULAS DE TiN
Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a temper...
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| Autores principales: | , , , |
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| Lenguaje: | Spanish / Castilian |
| Publicado: |
Universidad de Tarapacá. Facultad de Ingeniería
2005
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://www.scielo.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-13372005000200004 |
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