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1
Growth and characterization of W thin films with controlled Ne and Ar contents deposited by bipolar HiPIMS
por
V. Tiron
,
G. Bulai
,
C. Costin
,
I.-L. Velicu
,
P. Dincă
,
D
.
Iancu
,
I. Burducea
Publicado 2021
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