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1
Alleviation of Negative-Bias Temperature Instability in Si p-FinFETs With ALD W Gate-Filling Metal by Annealing Process Optimization
por
Longda Zhou
,
Qianqian Liu
,
Hong Yang
,
Zhigang Ji
,
Hao Xu
,
Guilei Wang
,
Eddy
Simoen
,
Haojie Jiang
,
Ying Luo
,
Zhenzhen Kong
,
Guobin Bai
,
Jun Luo
,
Huaxiang Yin
,
Chao Zhao
,
Wenwu Wang
Publicado 2021
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