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Low-Energy Pulsed Ion Beam Technology with Ultra-High Material Removal Resolution and Widely Adjustable Removal Efficiency
par
Guangqi
Zhou
,
Ye Tian
,
Feng Shi
,
Ci Song
,
Guipeng Tie
,
Gang Zhou
,
Lingbo Xie
,
Jianda Shao
,
Zhouling Wu
Publié 2021
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