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1
Optimizing the plasma oxidation of aluminum gate electrodes for ultrathin gate oxides in organic transistors
par
Michael Geiger
,
Marion Hagel
,
Thomas Reindl
,
Jürgen Weis
,
R. Thomas Weitz
,
Helena Solodenko
,
Guido
Schmitz
,
Ute Zschieschang
,
Hagen Klauk
,
Rachana Acharya
Publié 2021
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