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1
Optimization of Sacrificial Layer Etching in Single-Crystal Silicon Nano-Films Transfer Printing for Heterogeneous Integration Application
por
Jiaqi Zhang
,
Yichang Wu
,
Guofang Yang
,
Dazheng Chen
,
Jincheng Zhang
,
Hailong
You
,
Chunfu Zhang
,
Yue Hao
Publicado 2021
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