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1
Vertical and bevel-structured SiC etching techniques incorporating different gas mixture plasmas for various microelectronic applications
par
Ho-Kun Sung
,
Tian Qiang
,
Zhao Yao
,
Yang Li
,
Qun Wu
,
Hee
-
Kwan
Lee
,
Bum-Doo Park
,
Woong-Sun Lim
,
Kyung-Ho Park
,
Cong Wang
Publié 2017
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