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1
Comparison of sputtering and atomic layer deposition based ultra-thin alumina protective layers for high temperature surface acoustic wave devices
por
Miling Zhang
,
Jinkai Chen
,
Weipeng Xuan
,
Xinyu Song
,
Hongsheng
Xu
,
Jikai Zhang
,
Jian Wu
,
Hao Jin
,
Shurong Dong
,
Jikui Luo
Publicado 2021
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