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1
Remarkable plasma-resistance performance by nanocrystalline Y2O3·MgO composite ceramics for semiconductor industry applications
por
Hyeon-Myeong Oh
,
Young-Jo Park
,
Ha-Neul Kim
,
Kundan Kumar
,
Jae-Woong Ko
,
Chae-Eon Lee
,
Hyun
-
Kwuon
Lee
Publicado 2021
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