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1
Influence of α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Template and Process Parameters on Atomic Layer Deposition and Properties of Thin Films Containing High-Density TiO<sub>2</sub> Phases
par
Kristel Möls
,
Lauri Aarik
,
Hugo Mändar
,
Aarne Kasikov
,
Taivo Jõgiaas
,
Aivar Tarre
,
Jaan
Aarik
Publié 2021
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