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Planarized Trench Isolation of In<sub>0.52</sub>Al<sub>0.48</sub>As/In<sub>0.8</sub>Ga<sub>0.2</sub>As Metamorphic High-Electron-Mobility Transistor by Liquid Phase Chemical Enhanc...
por
Houng-Wei Chen
,
Tsung-Ying Lee
,
Jung-Sheng Huang
,
Kuan
-
Wei
Lee
,
Yeong-Her Wang
Publicado 2021
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