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1
Anisotropic etching of graphite and graphene in a remote hydrogen plasma
par
D. Hug
,
S. Zihlmann
,
M. K. Rehmann
,
Y. B. Kalyoncu
,
T. N. Camenzind
,
L
.
Marot
,
K. Watanabe
,
T. Taniguchi
,
D. M. Zumbühl
Publié 2017
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