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Naohiro Hayashi
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1
Thermal Stability of SiBCN Films
por
Naohiro
Hayashi
,
Junho Choi
,
Tomohisa Kumagai
,
Takahisa Kato
,
Masahiro Kawaguchi
,
Setsuo Nakao
,
Masami Ikeyama
Publicado 2008
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