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1
Thermal Performance of a Capacitive Comb-Drive MEMS Accelerometer: Measurements vs. Simulation
por
Mariusz Jankowski
,
Piotr Zając
,
Piotr
Amrozik
,
Michał Szermer
,
Cezary Maj
,
Grzegorz Jabłoński
,
Jacek Nazdrowicz
Publicado 2021
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