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1
Vapor-deposited zeolitic imidazolate frameworks as gap-filling ultra-low-k dielectrics
par
Mikhail Krishtab
,
Ivo Stassen
,
Timothée Stassin
,
Alexander John Cruz
,
Oguzhan Orkut Okudur
,
Silvia Armini
,
Chris Wilson
,
Stefan De Gendt
,
Rob
Ameloot
Publié 2019
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