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1
Investigating the Nucleation of AlO<sub>x</sub> and HfO<sub>x</sub> ALD on Polyimide: Influence of Plasma Activation
por
Laura Astoreca
,
David Schaubroeck
,
Parinaz Saadat Esbah Tabaei
,
Rouba
Ghobeira
,
Maaike Op de Beeck
,
Rino Morent
,
Herbert De Smet
,
Nathalie De Geyter
Publicado 2021
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