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1
High-yield, wafer-scale fabrication of ultralow-loss, dispersion-engineered silicon nitride photonic circuits
por
Junqiu Liu
,
Guanhao Huang
,
Rui
Ning
Wang
,
Jijun He
,
Arslan S. Raja
,
Tianyi Liu
,
Nils J. Engelsen
,
Tobias J. Kippenberg
Publicado 2021
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