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1
Smart-cut-like laser slicing of GaN substrate using its own nitrogen
por
Atsushi Tanaka
,
Ryuji
Sugiura
,
Daisuke Kawaguchi
,
Toshiki Yui
,
Yotaro Wani
,
Tomomi Aratani
,
Hirotaka Watanabe
,
Hadi Sena
,
Yoshio Honda
,
Yasunori Igasaki
,
Hiroshi Amano
Publicado 2021
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