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1
Author Correction: Precursor-surface interactions revealed during plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films by in-situ spectroscopic ellipsometry
por
Ufuk Kilic
,
Alyssa Mock
,
Derek Sekora
,
Simeon Gilbert
,
Shah
Valloppilly
,
Giselle Melendez
,
Natale Ianno
,
Marjorie Langell
,
Eva Schubert
,
Mathias Schubert
Publicado 2021
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