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1
Advanced Atomic Layer Deposition Technologies for Micro-LEDs and VCSELs
por
Yen-Wei Yeh
,
Su-Hui Lin
,
Tsung-Chi Hsu
,
Shouqiang Lai
,
Po-Tsung Lee
,
Shui
-
Yang
Lien
,
Dong-Sing Wuu
,
Guisen Li
,
Zhong Chen
,
Tingzhu Wu
,
Hao-Chung Kuo
Publicado 2021
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