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1
The Michelangelo step: removing scalloping and tapering effects in high aspect ratio through silicon vias
por
Simone
Frasca
,
Rebecca C. Leghziel
,
Ivo N. Arabadzhiev
,
Benoît Pasquier
,
Grégoire F. M. Tomassi
,
Sandro Carrara
,
Edoardo Charbon
Publicado 2021
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