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1
Flow analysis of a front opening unified pod (FOUP) subjected to different fan filter unit (FFU) coverage area in mini-environment
por
Tee Lin
,
Omid Ali Zargar
,
Tzu
-
Chieh
Lee
,
Dexter Lyndon Sabusap
,
Jian-Jie Li
,
Shih-Cheng Hu
,
Jay M. Khodadadi
,
Dourna Jamshideasli
,
Graham Leggett
Publicado 2021
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