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1
Experimental design approach for deposition optimization of RF sputtered chalcogenide thin films devoted to environmental optical sensors
por
E. Baudet
,
M. Sergent
,
P. Němec
,
C. Cardinaud
,
E. Rinnert
,
K. Michel
,
L. Jouany
,
B. Bureau
,
V
.
Nazabal
Publicado 2017
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