A High-Performance SiC Super-Junction MOSFET With a Step-Doping Profile
In this article, we investigate a 4H-SiC super- junction (SJ) MOSFET structure with a charge-imbalance doping-profile. According to our numerical simulations and comparisons with the conventional SiC VDMOS (C-VDMOS) and SiC SJ VDMOS (SJ-VDMOS) devices, the SJ-MOD structure offers a better trade-off...
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|---|---|
| Format: | article |
| Langue: | EN |
| Publié: |
IEEE
2021
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | https://doaj.org/article/d58c3b11aeab4b3eb825d025f9b2842b |
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