Influencia del Flujo de Nitrógeno en la Estructura, Dureza y Resistividad de Recubrimientos de TiSiNO

Recubrimientos de TiSiNO fueron fabricados por la técnica de erosión catódica reactiva por corriente directa sobre sustratos de acero y silicio, utilizando un blanco de Ti y una pequeña placa de Si sobre una atmósfera reactiva de nitrógeno, oxigeno y argón. Usando el método de Warren-Averbach se ana...

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Main Authors: García,Leandro, Hernández,Julián, Mendoza,Claudia O, Garnica,María G
Language:Spanish / Castilian
Published: Centro de Información Tecnológica 2009
Subjects:
Online Access:http://www.scielo.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-07642009000100004
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