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1
Effect of oxidation on electromigration in 2-µm Cu redistribution lines capped with polyimide
por
I
-
Hsin
Tseng
,
Po-Ning Hsu
,
Wei-You Hsu
,
Dinh-Phuc Tran
,
Benson Tsu-Hung Lin
,
Chia-Cheng Chang
,
K.N. Tu
,
Chih Chen
Publicado 2021
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