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Takae Takeuchi
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Identification of fragment ions produced by the decomposition of tetramethyltin and the production of low-energy Sn+ ion beam.
por
Satoru Yoshimura
,
Satoshi Sugimoto
,
Takae
Takeuchi
,
Kensuke Murai
,
Masato Kiuchi
Publicado 2021
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Low-energy Ar+ and N+ ion beam induced chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane for the formation of nitrogen containing SiC and carbon containing SiN films.
por
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,
Satoshi Sugimoto
,
Takae
Takeuchi
,
Kensuke Murai
,
Masato Kiuchi
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Low-energy Ar+ and N+ ion beam induced chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane for the formation of nitrogen containing SiC and carbon containing SiN films
por
Satoru Yoshimura
,
Satoshi Sugimoto
,
Takae
Takeuchi
,
Kensuke Murai
,
Masato Kiuchi
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