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1
Silicon photonic beam steering module with backside coupling elements toward dense heterogeneous integration with drive electronics
por
X. Chen
,
F. Meng
,
S. A. Fortune
,
A. J. Compston
,
M. Ebert
,
X. Yan
,
H. Du
,
M. Banakar
,
D. T. Tran
,
C. G. Littlejohns
,
D. J. Thomson
,
R
.
Nicolaescu
,
G. T. Reed
Publicado 2021
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